與擴散噴射泵相比，油擴散泵的抽氣量和最大出口壓力要低得多，所以泵的加熱功率也比較低。油擴散泵的鍋爐直徑通常等于（或小于）泵口直徑。抽速大于500L/S的油擴散泵鍋爐的熱負荷不超過2-2.5W/cm2.
在油擴散泵中，油蒸發所損耗的功率通常為總功率的60%-70%，其余部分為補償各種熱損失的功率。在擴散泵中損失主要有以下幾個方面：從加熱器表面經過鍋爐壁向外界的熱傳導（占20%-25%）；沿泵壁從熱的鍋爐向內冷的泵體的熱傳導（占10%-15%）；從導流管表面向泵壁的輻射和氣體與蒸汽的混合物從導流管向泵壁的熱傳導（5%-10%）。如果泵的結構比較好，則熱損耗可降到總功率的10%-15%。例如，對泵的加熱器和鍋爐進行絕熱保溫，可以明顯地降低熱損耗。如果采用封閉式加熱器，鍋底底面和加熱器之間沒有空氣層存在，則加熱功率可以很好地利用。

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